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中微5nm蝕刻(kè)機成了(le),台積電已驗收,純國產純自主研發

作者: 編輯: 來(lái)源: 發布(bù)日期: 2019.03.06
信息摘要:
 近日,國產中(zhōng)微傳來喜訊,旗下5nm等離子體蝕刻機(jī)通過了台積電的驗證,未來台(tái)積電生產5nm製成(chéng)將會用(yòng)到由中微提供的蝕刻機,該(gāi)蝕刻機由國產中微…

中微5nm蝕刻機成了,台積電已驗收,純國產純自主研發 

        眾所周知,半導體(tǐ)工藝是一項集大成的高精密科技,製成越高工藝也就越高,從65nm到32nm再(zài)到如今的10nm,因為製成難度問題淘汰掉了很多(duō)半導體企業,還在為更高製成研發的半導(dǎo)體企業也很少。

        近日,國產中微傳來喜訊,旗下5nm等(děng)離子體蝕刻機通過了台積電的驗證,未來台積電生產5nm製成將會用到由中微提供的蝕刻機,該蝕刻(kè)機由國產(chǎn)中微完全自主研發,可喜可賀。

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1、中微成立於2004年,在半導體行(háng)業小有名氣

        中微在半導體行業算是小有(yǒu)名氣了,該公司(sī)有多位(wèi)留美歸(guī)國博士所創立,成立(lì)於2004年11月,總投資5億元,對於此次成功研發出(chū)5nm蝕刻機,中微半導(dǎo)體CEO尹誌堯表示:在米粒(lì)上刻字(zì)的微雕(diāo)技藝上,一般(bān)能刻200個字已經是極限,而我(wǒ)們的(de)等離子刻蝕機在芯片上的加工工藝,相當於(yú)可以在米粒上刻10億(yì)個字的水平。

2、5nm蝕刻機成了,不代表可以量產5nm芯片

        不過需要注意的是,中微搞定了5nm蝕刻(kè)機並不代表台積電就可以直接用來生(shēng)產5nm製(zhì)成了,因為蝕刻機隻是眾多(duō)工藝中的一個環節而已,而(ér)重要的光刻機(jī),台積電仍然需要從荷蘭ASML進口(kǒu)。

3、國產的自主光刻機僅可生產90nm工藝

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        所以說,我國半導體行業和世界大廠之間的差距還是很大的,尤其是重要的光刻機,國內做光刻機好的是上海微電子,但可惜微電子也僅能生產90nm,但令我(wǒ)們欣慰的是,國(guó)內有很(hěn)多像中微(wēi)這樣的半(bàn)導體企業在不斷努力,差距也(yě)在不斷縮(suō)小。

        對於像中微這樣的企業我(wǒ)們(men)應該給予鼓勵和(hé)支持,完全的自(zì)主研發,不采用任何架構(gòu),希望中微再接再厲,可以在半導體行業占據一席(xí)之地。




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