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掩(yǎn)膜板(Photomask),又稱光掩模或(huò)光罩,是半導體、顯示(shì)麵板、PCB(印刷(shuā)電路板)等行業中不可或缺的核心工具。它類似於傳統照相的底片,通過精密圖案的透光與遮光區域(yù),將設計圖形(xíng)轉移到矽片、玻璃基板或其他材料上(shàng),從而實現高精度微細(xì)加工。
在半導體製造中(zhōng),掩膜板的作用尤為關鍵。芯片上的(de)電路設計首先被製(zhì)作在掩膜板上,再通過光(guāng)刻技術將(jiāng)圖形縮小並曝光到晶圓表(biǎo)麵,形成複雜的(de)集成電路。因此,掩膜板的質(zhì)量直接影響芯(xīn)片的性(xìng)能和良率。
根據應用(yòng)領域(yù)的不同,掩膜板可分為以下幾種類型:
半導體掩膜板:用(yòng)於集成電路(IC)製造,如CPU、存儲器等芯片的生(shēng)產(chǎn),要求極高的精(jīng)度和潔淨度。
顯示麵板掩膜板:應用於LCD、OLED等顯示屏的(de)製造,決定像素排(pái)列和電路布局。
PCB掩膜板:用於印刷電路板的圖形轉移,確保電(diàn)子元(yuán)器件的準確連接。
特殊工藝(yì)掩膜板:如MEMS(微機電係統)、光學(xué)元件等領域的定製化的掩膜。
掩膜板(bǎn)的製作涉及(jí)高精度光刻、鍍膜、蝕刻等工藝,主要步驟包括:
基板選擇:通常采用(yòng)高(gāo)純度石英玻璃或低(dī)熱膨脹係數的材料(liào),確(què)保穩定(dìng)性。
鍍(dù)鉻層:在基板(bǎn)上沉積(jī)一層鉻膜,作為遮光層。
光刻(kè)曝光:利用電子束或激光(guāng)直寫技術,將設計圖形轉移到鉻膜上。
蝕刻與清洗:去除多餘部分,形成最終圖案(àn),並進行嚴格的質量(liàng)檢測。
由(yóu)於掩膜板的精度要求極高(可達納米級),其(qí)生產過程需要在超淨環境中進行(háng),以避免灰塵(chén)和缺(quē)陷影響(xiǎng)最終產品(pǐn)性能。
隨著5G、人工(gōng)智能、物聯網等技(jì)術的發展,半導體和顯示行(háng)業(yè)對高(gāo)精度掩膜板的需(xū)求持續增長(zhǎng)。據市場研(yán)究數(shù)據顯示(shì),全(quán)球掩膜板市場(chǎng)規模預計將在未(wèi)來幾年保(bǎo)持(chí)穩定增長,其中高端掩膜板(如EUV極紫外光掩膜)的需求尤為旺盛。
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掩膜板作為現代精(jīng)密製造的(de)核心工具,直接影響著半導體、顯示麵板等行業的發(fā)展。隨著技術不斷進(jìn)步(bù),掩膜板的精度和複雜度也將進一步提升。卓(zhuó)力達(dá)金屬科技將(jiāng)持續創新,為客戶提供(gòng)更(gèng) 優異的產(chǎn)品和服務,推動行業向前發展。
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