淺談影響金屬蝕刻速度的因素（sù）

蝕刻（kè）生產（chǎn）工藝中，隻要一談到金屬蝕刻，其蝕刻速度就是一個非常受大家關注的問題。都（dōu）希望蝕刻速度快，減少生產時間，但蝕刻速度（dù）並不是越快越好。這要具體情況具體分析，這（zhè）個具體情況就是（shì）對深度及蝕刻表麵狀態的要求，在這兩個要求中關鍵的是 蝕刻深度的要求。對於一個需要進（jìn）行化學蝕刻的（de）產品，不管是要（yào）求（qiú）深的蝕刻還是要求（qiú）淺的蝕刻都有一（yī）個共同的準則，那（nà）就是深度的均勻性。蝕刻深度的均勻性主要（yào）受4個方麵的影響：材料、蝕刻溶液、蝕刻過程的物理參數和蝕刻時間。當金屬需要蝕刻的深度較深時， 材料的因素並不重要(材質質量大差例外)。同時為了提高生產效率的需要，要（yào）通過對蝕刻溶液濃度、配方組成（chéng）的調整和蝕刻物理參數的調（diào）整來提（tí）高蝕（shí）刻速度，即便是這樣也不需要（yào）“越快越好的蝕刻速度”。因（yīn）為太快的速度會使（shǐ）溶液（yè）成分變化太快（kuài），會反過來影響到物理參數的控製難度，同時也（yě）會使被蝕刻的金屬表麵（miàn）溶解速（sù）度不能一致，使蝕刻後的表麵平滑度降低。對常用金屬材料的蝕刻以現有技術水平完全可以做較高的蝕刻速度（dù），可達0.1m/min以上，這麽快的速度需要 腐（fǔ）蝕能力更（gèng）強的配方及更高的溫度，為（wéi）了維持溶液（yè）成分的相對穩定可以（yǐ）采用大體積或自（zì）動分析調整技術，但在這裏就有一個可用（yòng）於批（pī）量生產的防蝕層怎麽製作的問（wèn）題，本書（shū）中所講的一定是批量生產而不是實驗室的工作。所以快的蝕刻速度隻是（shì）一個相對概念，是在容易（yì）控製的同時，防蝕層製作成本可接受、蝕刻深度均勻的前提下，較快的蝕刻速度才是有意義的。

對於深度要求淺的蝕刻材料的表麵狀態及品粒組（zǔ）織就會對深度的均勻性產生影響，同時如果將（jiāng）蝕刻溶液及物理參數調到快的蝕刻速度，其均勻（yún）性將無法控。對於蝕刻深度超過毫米級的（de）要求，其刻速度達到0.05mm/min時，在生產中（zhōng）會覺得太慢（màn）。如（rú）果對蝕（shí）刻深度要求在0.035m時，其蝕刻速度在0.0lmm/mim時（shí）會覺得太（tài）快。因為金屬蝕刻時並不是所想（xiǎng）象的（de）那樣同時在整個金屬表麵展開。對於（yú）材料表麵的（de）鈍化等因素（sù）有些部位的（de）金屬蝕刻時會有遲後效（xiào）應，特別是對不鏽（xiù）鋼蝕刻這種現象更為明顯。

影響蝕刻速度的另一個重要因素就是公差，速度越快對（duì）公差的精度控製就越困難。比如當一個要求公差為士0.00m的工（gōng）件，在設計蝕刻（kè）工藝時需要確定其蝕刻速度，當然公差一定是和深度相對應的，蝕刻深度越大公差也越大，反之則越（yuè）小。

綜上所述,可以知道影響（xiǎng）確定蝕刻速度的因素主要有蝕刻深度要求及公（gōng）差要求。對於蝕（shí）刻深度大的工件可以設（shè）計成較（jiào）高蝕刻速度的（de）工藝方案，當對公差要求高時可采（cǎi）用（yòng）分（fèn）次蝕刻的方法進行，即先采用高速度的蝕刻方法，當接近設計要求深度時采用低蝕刻速度的方法來保證公差（chà）。對於蝕刻深度淺、公差要求嚴的工件則應采用 蝕刻（kè）速度較慢的工藝方法。

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