信息摘要:
金屬蝕刻質量的保證主要來自於(yú)對蝕刻過程的控製(zhì),金屬蝕(shí)刻過程的控製分(fèn)為化學參數控製和物理參數控製。
金屬蝕刻過程的控製
金屬蝕刻(kè)質量的保證(zhèng)主要來自於(yú)對(duì)蝕刻過程的控製,金屬蝕(shí)刻過程的控製分為化學參數控製和物理參數控(kòng)製(zhì)。
1.化學參數控製
化(huà)學(xué)參數控製對於維持蝕刻液持(chí)久而均勻的蝕刻速度是非常關鍵的(de),化學參數(shù)控製主要包括溶液濃度的(de)控製和溶液中各組分之間的比例控(kòng)製。對這兩方麵的控製,前者的濃度控(kòng)製(zhì)容易,可以通過分析的方法就能確(què)定溶液中成分的消耗情況。而對於後者控製難度要大一些,主要是因為蝕刻液中(zhōng)的添加物質含(hán)量較低,並且可能是一些較難分析的有機材料,或和蝕刻液中的主料分離較為困難。
化(huà)學參數控(kòng)製的依據來源於(yú)對溶液成分的分析而不(bú)是經(jīng)驗的估計,當然對於一些(xiē)小廠並不排除操作者可以通過觀察蝕刻(kè)過程進行的激烈程(chéng)度、被(bèi)蝕(shí)刻金屬表麵的狀態以及溶液顏色的變化再根據經驗來(lái)進行調節,並滿足在一定程度上的可控性。這種方式對於成分單一的蝕刻液具有一定的實用性,但(dàn)對於成分(fèn)組成複(fù)雜,同時對金屬蝕刻深度均(jun1)一性要求較高的工(gōng)件,采用這種方法有(yǒu)很大的局限性,難於保(bǎo)證批量生產的需要(yào)。從保證產品質量穩定的角度出發,要求(qiú)
蝕(shí)刻廠能把分析結(jié)果作為調整蝕刻液的(de)依據。
化(huà)學蝕刻溶液的(de)分析周期主要受以下幾方麵因素的影響:①溶液體積;②溶液的初始濃度;③單位體積的(de)負荷量;④蝕刻量(一般以日(rì)為單位)。對這(zhè)幾方麵的影響因素很(hěn)容(róng)易理解,溶液體積小、溶液初始濃度低、單位(wèi)體積的負荷量較大的情況下,蝕(shí)刻液(yè)成分的變化速度就快,其分析周期就較短,反之則長。通常而言,如果蝕刻溶(róng)液(yè)體(tǐ)積不大,批(pī)量生產的情況下應保持每(měi)個班次分析一次(這裏的班次是(shì)以8h為一個生(shēng)產(chǎn)周(zhōu)期計算)。
1.物理參數控製
物理(lǐ)參數的(de)控製分為通用參數控製及蝕刻方式所決定的其他參數控(kòng)製。通用參數控製主要是對在蝕刻過程中時間、溫度進行控製;由蝕刻方式所決定的其他參(cān)數控製包括浸泡蝕刻的溶液攪拌程度的控製以及噴射蝕刻的噴射壓力(lì)的(de)控製。在化(huà)學參數可控範圍內,物理參數的控製對於維持其蝕刻速度的恒定及蝕刻均勻性是非常(cháng)重要的。物理參數的控製相對於化學參數的控製來(lái)說要容易得多,也直觀得(dé)多。同時,一些設備對溫(wēn)度、時間及噴射壓力都有自控裝
置,隻需(xū)要預先將這些參數(shù)輸人即可。
任何金(jīn)屬蝕刻都一定有兩個需要控製的指標,即深度(dù)和表麵(miàn)平(píng)滑度。雖然物理因素和化學因素的變(biàn)化(huà)都會對蝕(shí)刻深(shēn)度及表麵平滑度產生影響,但在確定的蝕刻液成分及濃度(dù)的情況下(xià),對深度的影響主要是物理因素(sù),在溫度、壓力(lì)恒定的前提下,確保(bǎo)蝕刻深度指標的因素(sù)是蝕刻時間,在實際生產中也是通過(guò)時間來對蝕刻深度進(jìn)行(háng)有效控製。而對於表麵(miàn)平滑度,雖然溫度的變(biàn)化(huà)會有一定的(de)影響,但(dàn)主(zhǔ)要還(hái)是受蝕刻液的化學組分(fèn)的影響,在化學組中添加物質對表麵平滑度(dù)的影響比蝕(shí)刻主劑的影(yǐng)響更大,同時調(diào)整也更困難,但可以通過實驗確定一個單位麵積消耗量(liàng)的經(jīng)驗值來控製。
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