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不鏽鋼蝕刻工藝規範
(1)不鏽(xiù)鋼蝕刻工藝過程:預處理、防蝕層製作一裝掛-活化-蝕刻-流動水洗-光化處理-流動水洗-檢查-清理(lǐ)防蝕層-幹(gàn)燥-下掛-檢查-轉下工序(或包裝人庫)。
(2)主要工序要求如(rú)下所述。
①預處理:按不鏽鋼預處理工藝規範進行。
②防蝕層製作:刻劃法按刻劃法工藝規範進(jìn)行;感光法按感光法工藝規範進行(háng);絲印法按絲印工藝規範進行;激光光刻法按激光光刻工藝規範進行(háng)。
③裝掛:根據蝕刻方(fāng)法的不同選擇合適的裝掛方式。裝掛時應牢固,保(bǎo)證工件不相互貼合、碰撞。裝掛位置適當,盡量避免在化(huà)學處理時產生氣囊,保證蝕(shí)刻的均勻性。如是采用傳 輸式蝕(shí)刻設備進行蝕刻則不需要裝掛,但要采用合適(shì)的工裝,防止在噴射時使工件移位而影響蝕刻的進行。
④活化按表4一9進行。
⑤蝕刻:圖文蝕刻和(hé)噴淋式蝕刻按表4一(yī)10進行,浸泡蝕刻按表(biǎo)4一11進行。
對於垂直蝕刻的工件要定時將上下位置對換,在蝕刻過(guò)程中要注意檢查蝕(shí)刻(kè)深度的(de)變化, 在蝕刻到深度的80%左右時(shí),應取出工件測量深度,然後再確定餘下的蝕刻時間。對(duì)於深度不高的台階及圖文蝕刻、可根據預(yù)先工藝試驗確定的時間進(jìn)行。 對多台階蝕刻要分(fèn)次進行(háng),對於深(shēn)度不大的圖形多台階蝕刻防蝕層製作推薦(jiàn)采用激(jī)光光刻法。防蝕層製(zhì)作采用多次蝕刻、多次光刻的方法進行。
⑥光(guāng)化處理按表4一12進行。
⑦檢(jiǎn)查:這一(yī)步主要是檢查蝕刻深度、蝕刻表麵(miàn)的效果是否符合(hé)工藝要求,並同時檢查防 蝕層有無異常。
⑧退除防蝕層:絲印、感光或激光光刻法製作(zuò)的防蝕層可采用有機溶劑,以及5%一10% 的氫氧化鈉溶(róng)液進行(háng)清理;刻劃法製作(zuò)的防蝕層可直接剝除,對(duì)於厚度不大的工件在剝除過程 中應注意防止工件變(biàn)形。
⑨幹燥:在60℃一80℃的(de)幹燥(zào)箱(室)內幹燥。
⑩卸掛:卸(xiè)掛時應戴幹淨的細(xì)紗手套(tào),在以後各工序(xù),操作(zuò)人員都應戴幹淨的細紗手套。
(3)溶液配製與調整如下所述。
①溶液的(de)配製方法:略。
②溶(róng)液成分的分析項目及(jí)分析周期見表4一13.
(4)常見故障的產生原因及排除方法見表(biǎo)4-14
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